真空机械手SRBZ820C-SMSX/G

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万前次,SEMI认证S2,F47,逢迎个性化设想具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特性,耐高温、耐烦腐化,静态纠偏安然静碰撞庇护功用。

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简介

机械手接纳耐高温手指丰隔热设想,可用于安排高温托盘,短时间耐高温300℃以上。指部、腕部乖巧的设想理念低落了接触面的外表粗拙家,加大热点阻。同时具有音巨细、振动巨细、运转平稳、精度高档特性。具有更活络的碰撞庇护功用,有用庇护机械手安然静客户晶周遭。全新的轨迹计划,进步活动节奏,进步了用户产能。正在半导体火原高端装备中普遍使用,鞭策了国内半导体产业链的前进,有用的支持了国内装备阛阓的开展。

参数

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